Elaboración del silicio poroso tipo p y caracterización morfológica mediante microscopía de fuerza atómica

Elaboración del silicio poroso tipo p y caracterización morfológica mediante microscopía de fuerza atómica

Contenido principal del artículo

H. Rosas Diaz
I. Delgado
J. A. Cardona Bedoya
A. Calderón
A. E. Florido Cuellar

Resumen

Se presenta un sistema para la elaboración del Silicio Poroso (SP) tipo p y su caracterización morfológica. El SP es elaborado mediante un ataque electroquímico de un cristal de silicio tipo p en una solución con acido fluorhídrico (HF) dentro de una celda electroquímica a la cual es aplicada una corriente constante mediante un electrodo de platino y otro de silicio con un contacto óhmico de plata. La caracterización del SP se obtuvo mediante la técnica de microscopia de fuerza atómica (AFM).

Palabras clave: Semiconductor, Silicio poroso, ataque electroquímico, ácido fluorhídrico.

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Detalles del artículo

Biografía del autor/a (VER)

H. Rosas Diaz, Universidad del Tolima

Departamento de Física, Facultad de Ciencias, Universidad del Tolima

I. Delgado, Universidad del Tolima

Departamento de Física, Facultad de Ciencias, Universidad del Tolima

J. A. Cardona Bedoya, Universidad del Tolima

Departamento de Física, Facultad de Ciencias, Universidad del Tolima.

A. Calderón, CICATA IPN Unidad legaría

CICATA IPN Unidad legaría

A. E. Florido Cuellar, Universidad del Tolima

Departamento de Física, Facultad de Ciencias, Universidad del Tolima

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